纳诺半导体完成数千万A1轮融资

　　9月6日消息，图形晶圆光学缺陷检测设备制造商纳诺半导体完成数千万A1轮融资，本轮由水木创投领投，老股东英诺天使基金超额跟投，一苇资本担任长期独家财务顾问。本轮资金将用于技术研发、产品验证及产线量产扩充。

　　据公开消息显示，合肥市纳诺半导体有限公司（以下简称“纳诺半导体”）成立于2021年9月，专注于半导体前道缺陷检测设备研发。创始人朱俊博士博士拥有20多年激光及检测设备产品开发和企业管理经验，曾是KLA的DF（图形晶圆暗场缺陷检测）产品研发负责人，领导团队成功开发了PUMA DF产品。公司成员50余人，超75%为技术人员，他们大多来自中科大、中科院等知名高校院所。

　　2023年，纳诺首款暗场检测产品DF70的集成趋向完成，并为客户进行产品验证。据了解，我国暗场缺陷检测领域基本被KLA垄断，定位于图形晶圆暗场检测的DF70，对标KLA Voyager系列，使用深紫外DUV激光，可应用于12英寸先进制程产线，填补了国内厂商在先进制程领域的空白。

　　朱俊博士表示，目前国内外不论是人员研发费用，还是材料成本投入，两者差距越来越小。DF70系列的优势在于，在KLA通过软件层面对设备灵敏度进行封锁，国内Voyager基本为阉割版的情势下，DF70系列可提供更加全面的半导体缺陷灵敏度检测，解决客户的后顾之忧。

　　水木创投投资总监昌锋表示：水木创投专注于硬科技项目的早期投资与科技成果转化，已孵化出多家上市公司和独角兽企业。水木创投的投资着眼于突破核心卡脖子技术，在半导体产业链已有丰富的布局。伴随着工艺的先进化，半导体量检测设备的重要性越发重要。纳诺团队敢于攀登技术高峰，针对先进图形晶圆缺陷检测设备的研发及供应链国产化进展迅速，给我们留下了深刻的印象。期待纳诺不断前进，为半导体产业发展贡献更大的力量。

　　英诺天使基金管理合伙人周全表示：半导体、新能源、新材料和智能制造是英诺在硬科技方向重点布局领域，其中在半导体领域进行了全产业链布局，几年前就布局了半导体前道设备。纳诺半导体团队拥有丰富和研发背景和研发经验，产品进展迅速，具备稀缺性。作为纳诺天使轮的投资方，我们持续支持纳诺的发展，解决中国半导体设备缺链补链问题。